A technique for creating very fine patterns used in semiconductor device fabrication by manipulating electron beams.

अर्धचालक उपकरण निर्माण में उपयोग की जाने वाली अत्यंत सूक्ष्म पैटर्न बनाने की एक तकनीक।

English Usage: Electron beam lithography is essential for producing high-precision circuits.

Hindi Usage: उच्च-परिशुद्धता सर्किट्स के उत्पादन के लिए इलेक्ट्रॉन बीम लिथोग्राफी आवश्यक है।